设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度

设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器**送风方式；室外机放置在屋面上。新风由相邻洁净室正压过来。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子）。

3 磨片检查室有温度和湿度控制要求，设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器**送风方式；室外机放置在屋面上。新风经新风机组（MAU-1、2）处理后，接至送风管上送到室内，相对湿度由新风机组来保证。新风机组是与净化系统共用的。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子），新风机组内设粗、中效过滤器。

2.2 净化系统

光伏新能源净化工程系统用的新风空调机组（MAU）和循环空调机组（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷冻水，加热采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿，洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。

1 CP室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，CP室工艺设备用酸量较多，采用全新风空调机组（MAU-3）+过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。其气流流程为：新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-过滤器送风-洁净区。

2 ML室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。

3 CP/CVD室、LP/CVD室、洁净包装间净化级别为6 级，换气次数取为50次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

4 7级、6 级的洁净室采用的气流形式为**部过滤器送风口送风，房间侧下百叶风口回风。其气流流程为：新回风混合!中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。