我国在洁净工程的发展状况

我国的洁净技术和设备与国外先进国家相比相距是明显的，我国1965年才开始生产的HEPA，经国外晚了 十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二十年。0.1微米洁净技术和设备在国际上先 进国家已成为成熟技术，我国则刚刚起步。  

世界各工业先进国家为适应**净技术的发展，对大量使用的过滤器的研究**中断，几年来一起在开 发不同结构不同性能的新产品，美国自1979年开始研制0.1微米ULPA过滤器，1984攫美国AAF公司开始生产 0.1微米无隔板ULPA过滤器，目前，为0.1微米ULPA过滤器在美国 AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDG 公司已形成商品生产。日本也已成为世界上生产0.1微米ULPA过渡器厂家较多的国家，品种繁多，产品系列 化，尤其是低压损型0.1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。国际市场对空气过渡 器的需要量很大，且每年均有增长，目前日本每年销售**过100万台，按每台平均价格200美元计算，销售 额达2亿美元。我国空气过渡器的需要量已接近每年10万台，占国际市场的2%~4%，但至今还没有 0.1微米ULPA过渡器生产，用于越大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0.1微米 ULPA过滤器目前还依赖进口。 在洁净室建设规模的技术水平上，我国与先进国家差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年 期间承建的洁净室面积达81.8万平方米，而这期间，我国一年承建的洁净室总面积还不到10万平米，但八五 期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计 已达188.5万平方米。在洁净室工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0.1微米级的**净室，1987年 日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级 厂房，换气次数高达300次/分。